落地阀门分配箱，是一种内嵌多支路，实现高纯气体或液体分流 的阀门箱。VMB能让高纯原料从单一来源被分配到多点应用。

对于每个使用点，压力可被单独地调控，从而可同时满足不同应用的需求。

它还可提供吹扫功能和真空抽气功能，因此操作人员 能够在无危险气体泄漏的情况下安全地维护 VMB 的每一部份。

除此以外，设备运行过程中能在不影响其它支路气体供应情况下, 吹扫某一支路或对其进行真空抽气。VMB通过采用安装的压力表、手动阀等装置，具有成本低的优势，能够实现设备安全有效 的运行，同时也确保了工厂正常 生产和员工人身安全。

技术参数：

■箱体材质与厚度：SUS400*2.0t

■控制方式：Micro PLC

・标准配备：压差开关(警报)、压差计(显示)、排气风门、 箱体门锁/密码、隔板接头(Bulkhead).主阀入口(气动阀)、供应出口阀(气动阀)、紧急关断开关(EMO)、 紧急远程关断 开关-主阀(RM。)、紧急远程关断开关-By Stick(RMO)、警报显示器(Indicator)、警报蜂鸣 器(Buzzer)、警报解除钮 (Reset)、PT 压力 Hi / Low 警报、PT 信号传输 SCADA(以太网络)、供气压力低 报警(GN2 气动阀)、气动阀开关状 态信号记录反馈

■可根据客户要求定制

Technical parameters:

■ Cabinet material and thickness: SUS400*2.0t

■ Control mode: Micro PLC

■ Standard equipment: differential pressure switch (alarm), differential pressure gauge (display), exhaust damper,Enclosure Door Lock/Password, Bulkhead, Main Valve Inlet (Pneumatic Valve), Supply Outlet Valve (Pneumatic Valve), Emergency Shut-off Switch (EMO), Emergency Remote Shut-off Switch - Main Valve (RMO), Emergency Remote Shut-off SwitchBy Stick (RMO), Alarm Display (Indicator), Buzzer, Alarm Relief Button (Reset), PT Pressure Hi / Low Alarm, PT Signal Transmission SCADA (Ethernet Network), Low Supply Air Pressure Alarm (GN2 Pneumatic Valve), Pneumatic Valve Switching Status Signal Recording Feedback

■ Can be customized according to customer requirements

适用气体： 易燃性，腐蚀性，毒性气体，诸如 SiH4, NF3, NH3, N20, HCI 等。

Suitable gas: Flammable, corrosive, toxic gases such as SiH4, NF3, NH3, N20, HCIf etc.

适用行业： Semiconductor. TFT、Sun Solar、LED,研究所，高校实验室等。

Applicable industries: Semiconductor, TFT, Sun Solar, LED, research institutes, university laboratories, etc.