全自动特气柜，基本功能包括自动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断（当设定报警信号被触发时）。 采用 PLC控制，触 控屏为人机界面，通过设备安装的压力传感器、气动阀、过流量计等装置，实现设备安全有效的 运行。其内部 PLC 程式设计的安全联锁功能和高纯阀件的合理选择和布局，既满足了半导体工艺生产过程中对特殊气体连续供给和高纯度的要求，同时也确保了工厂正常生产和员工人身安全。

技术参数:

■切换：全自动/半自动切换

■吹扫：自动

■前过滤器：5 pm

■最终过滤器：0.003 pm

■控制屏幕（10"lU±） +Function:彩色触碰式屏幕

■数字接口：以太网

■标准配置：单瓶柜（1 工艺钢瓶）、双瓶柜（1 工艺钢瓶+ 1 吹扫 N2 钢瓶）、双瓶柜（2 工艺钢瓶）、 三瓶柜（2 工艺钢瓶，1 吹扫 N2 钢瓶）等

■特殊配置：大流量 BSGS 供应系统（NH3 2000L）、TEOS 供应系统、TCS/DCS 供应系统、高精度气 体混配系统等

■标准配备：高压测试、真空产生器（左右侧需独立设置）、钢瓶压力传送器、供应压力传送器、吹送气体

压力传送器 PT3、调压阀、吹扫逆止阀、关闭阀-高压侧、关闭阀-低压侧、预留阀、钢瓶开关SHUTBOY、喷淋(SPRINKLER)、UV/IR (Dual IR)X 自动风门(Auto damper).高温传感器(Hi Temp.)、侦烟传感器（Smoke sensor）.自关式何上锁门/门闩/密码、磅秤（防水型内嵌式）配置防护框架、控制器、预设警报/使用者警报、维修窗、警报及工作履历、气动阀强制供气、操作设定变更、原物料过期报警警示、隔板接头、接头保护器、仪表设备接地、风压计 7 风压测试口、远程（手/自动）

■可根据客户要求定制

适用范围： 应用在 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备上，适用于高校实验室、材料分析实验室、芯片半导体、光伏 太阳能电池、生 物医药工程、微电子新材料等行业。