干式尾气处理设备是一个专门处理现场各种制 程废气的系统，在填料吸附的过程中，将制程所产生的废气，利用活性化学吸附剂方法去除危害性气体，再经由另一道程序而排放至厂务处理系统，所处理的废气，包含大部分半导体厂所使用的特殊气体，维修保养的频率少且时 间短，不会影响生产的时程。

产品特点：
KS-100 Cabinet 内配备有 100L 的吸附桶。

设备的吸附效率均可达 99%以上。
.可靠的安全连锁功能

可视化的运行状态

安全、不燃的吸附介质

不消耗电力、燃气、自来水

在室温下不可逆转的转化为稳定的固体

可高度净化有毒气体及维修简便。
其内置之高效能化学吸附材，可净化厂区内制程所产生之有毒气体。正常运行时间可达到 99.95%
(MTBF>30000hr,MTTR<2.5hr)

Features:

 The KS-200 Cabinet is equipped with 100L adsorption barrels.

 The adsorption efficiency of the equipment can reach more than 99%.

 Reliable security chain function

 Visualize the health status

 Safe, non-combustible adsorption medium

 It does not consume electricity, gas, or running water

 Irreversibly converted to stable solids at room temperature

 It can be highly purified of toxic gases and easy maintenance.

 Its built-in high-performance chemical adsorption material purifies the toxic gases produced by the

process in the factory. Uptime of 99.95% (MTBF>30000hr, MTTR<2.5hr)

应用气体：

AsH₃、PH₃、BF₃、SiH₄、GeH₄、DCS、TCS、CL₂、F₂、HF、HCL、NH₃、TDMAT. BCL₃、WF₆、TEOS、SIF₄、N0x H2S、C0x TMGA、TMIN、TMAI、IPA、醇类、有机酸型......